トーヤルナイト・スーパーJシリーズは、焼結用として最適な窒化アルミニウム粉末で、以下の特徴を有しています。
高熱伝導性:200W/mK 以上達成可能。
高純度:金属不純物を極めて低レベルに抑えています。
品質安定性:厳しい品質管理の下、安定した品質をお届けします。
すべてのタイプについて造粒粉(スプレードライ)の作製が可能です。
トーヤルナイト・スーパーFLシリーズはフィラー用として最適な窒化アルミニウム粉末です。フィラー用としての好適な粒度分布に加えてシリカコートを施し、AlNの弱点であった水との反応をブロックしています。また、アルミナやシリカでは不可能であった10W/mK 以上の熱伝導率を得る事が可能となります。
基盤半導体製造装置