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窒化アルミニウム

概要

左写真:窒化アルミニウム spacer 右写真:窒化アルミニウム 窒化アルミニウムは高放熱性と絶縁性を兼ね備えたユニークな素材として、近年特に注目されています。
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特徴

トーヤルナイト・スーパーJシリーズは、焼結用として最適な窒化アルミニウム粉末で、以下の特徴を有しています。

高熱伝導性:200W/mK 以上達成可能。

高純度:金属不純物を極めて低レベルに抑えています。

品質安定性:厳しい品質管理の下、安定した品質をお届けします。

すべてのタイプについて造粒粉(スプレードライ)の作製が可能です。

トーヤルナイト・スーパーFLシリーズはフィラー用として最適な窒化アルミニウム粉末です。フィラー用としての好適な粒度分布に加えてシリカコートを施し、AlNの弱点であった水との反応をブロックしています。また、アルミナやシリカでは不可能であった10W/mK 以上の熱伝導率を得る事が可能となります。

品名 D50/μm 酸素量/wt% Fe/ppm 特徴
JC 1.2 1 15 微粒/高純度品
JD 1.2 1 15 微粒高純度品(Ca200ppm含有)
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用途

基盤半導体製造装置

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