パウダー・ペースト製品POWDER & PASTE PRODUCTS

焼結用窒化アルミニウム粉末 「トーヤルナイト®」

TOYALNITE®

概要

高純度窒化アルミニウム粉末トーヤルナイトは、熱伝導性・絶縁性が高いユニークな素材です。主に電子機器や半導体製造装置などに使用されており、様々な分野で活躍しております。『焼結用』『フィラー用』その他用途に合わせたグレードを取り揃えており、様々なニーズにお応えします。

特徴

高熱伝導性 超高純度のため、焼結後の熱伝導率が高い
高強度 粒度分布があるため、焼結後に高強度が得られる
絶縁性・熱膨張率 AIN特有の絶縁性と、Siに近い熱膨張率

製品例

グレード 特徴 平均粒径
(μm)
比表面積
(m2/g)
酸素量
(wt%)
Fe
(ppm)
Si
(ppm)
Ca
(ppm)
JC 低酸素/高純度 1.2 2.8 0.9 15 30 0
JD 低酸素/易焼結 1.2 2.8 0.9 15 30 200
MF 高純度 2.3 3.5 1.1 15 30 0

スプレードライによる造粒粉での提供も可能

グレード 原料
(AlN粉末)
平均粒径
(μm)
Y2O3
(wt%)
JCGA JC 80 5
JDGA JD 80 5
MFGA MF 80 5
  • JC/JD

  • JM

  • JCGA/JDGA

用途例

  • ・パワー半導体用基板
  • ・LED用基板
  • ・半導体製造装置用部品